
Tech & Mediahightechsystems.nl
ASML tilt euv-bronvermogen in lab naar 1000 watt
ASML heeft in een laboratoriumexperiment een euv-lichtbron van 1000 watt gevalideerd. Het bedrijf bevestigt daarmee zijn roadmap voor de brontechnologie. De demonstratie betekent dat bronvermogen geen beperkende factor meer zal zijn voor de doorvoer, die...
