Tech & Mediahightechsystems.nl
ASML tilt euv-bronvermogen in lab naar 1000 watt
ASML heeft in een laboratoriumexperiment een euv-lichtbron van 1000 watt gevalideerd. Het bedrijf bevestigt daarmee zijn roadmap voor de brontechnologie. De demonstratie betekent dat bronvermogen geen beperkende factor meer zal zijn voor de doorvoer, die uiteindelijk zal groeien naar 400 tot 500 wafers per uur.
Lees het volledige artikel bij hightechsystems.nl
Je gaat naar de website van de uitgever. Hier tonen we alleen een korte intro.
