Tech & MediaTweakers
Imec en Duitse Zeiss hernieuwen samenwerking om high-NA-euv door te ontwikkelen
Het Belgische onderzoeksinstituut imec en de Duitse fabrikant van optische elektronica Zeiss hernieuwen hun samenwerkingsverband voor nog eens vijf jaar. De partijen werken samen aan het doorontwikkelen van high-NA-euv-lithografie.
